1 简介

真空泵(beng)是一种旋转式(shi)变容真空泵(beng)须有前级泵(beng)配合方可使用(yong)在较宽的(de)压力范围(wei)内有较大(da)的(de)抽速对(dui)被抽除气体中含(han)有灰尘和水蒸汽不(bu)敏感广泛用(yong)于(yu)冶金、化工(gong)、食品、电子镀膜等行(xing)业。[1]

2 特点

(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；

(2)转(zhuan)子具有(you)良好(hao)的几(ji)何(he)对(dui)称性，故振动小，运转(zhuan)平(ping)稳。转(zhuan)子间(jian)(jian)及转(zhuan)子和壳体间(jian)(jian)均有(you)间(jian)(jian)隙，不用润滑，摩擦损失小，可大(da)大(da)降低驱动功率(lv)，从而可实现(xian)较高转(zhuan)速；

(3)泵腔内无需用油(you)密封和润滑，可减少油(you)蒸气对真空系(xi)统的污染；

(4)泵(beng)腔内(nei)无压缩，无排(pai)气阀。结构简单、紧(jin)凑，对(dui)被(bei)抽(chou)气体中的(de)灰尘(chen)和水蒸汽不敏感；

(5)压(ya)缩比(bi)较低，对氢气抽气效果差；

(6)转子表面为形(xing)状较为复杂的曲(qu)线柱面，加(jia)工(gong)和检(jian)查比较困难。

3 结构

（1） 泵总(zong)体结构(gou)型(xing)式

真空泵的泵体的布置结构(gou)决定了泵的总体结构(gou)。

立式结(jie)构的进(jin)、排(pai)气口水平(ping)设置(zhi)，装配和连接管路都比较方便。但泵(beng)的重心较高(gao)，在高(gao)速运转时稳定性差，故这种型式多用(yong)于小泵(beng)。

卧式(shi)泵的(de)(de)进气(qi)口(kou)在上，排(pai)气(qi)口(kou)在下(xia)。有时为了真空(kong)系统(tong)管道(dao)安装连接(jie)方(fang)(fang)便，可将(jiang)排(pai)气(qi)口(kou)从水平方(fang)(fang)向(xiang)接(jie)出(chu)，即进、排(pai)气(qi)方(fang)(fang)向(xiang)是(shi)相互垂直的(de)(de)。此(ci)时，排(pai)气(qi)口(kou)可以从左或右两(liang)个(ge)方(fang)(fang)向(xiang)开口(kou)，除接(jie)排(pai)气(qi)管道(dao)一(yi)端(duan)外，另一(yi)端(duan)堵(du)死或接(jie)旁(pang)通阀。这种泵结构重心低，高速运转(zhuan)时稳定(ding)性好。一(yi)般大、中(zhong)型(xing)泵多采用此(ci)种结构。

泵的(de)两个转子(zi)轴与水(shui)平面垂直安装(zhuang)。这种结构(gou)装(zhuang)配间隙容(rong)易控(kong)制，转子(zi)装(zhuang)配方便(bian)(bian)，泵占地(di)面积小。但泵重心较高(gao)且齿轮(lun)拆装(zhuang)不便(bian)(bian)，润滑机(ji)构(gou)也相对(dui)复杂。

（2） 泵(beng)的传动(dong)方式

真空(kong)泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)两(liang)个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)是(shi)(shi)通过(guo)一(yi)(yi)(yi)对高精(jing)度齿(chi)轮(lun)(lun)来实现其相(xiang)对同(tong)步(bu)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)的(de)(de)(de)。主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)通过(guo)联轴(zhou)(zhou)器与(yu)电机(ji)(ji)(ji)(ji)联接。在(zai)传动(dong)(dong)结构(gou)布置上主要(yao)有以(yi)下两(liang)种：其一(yi)(yi)(yi)是(shi)(shi)电动(dong)(dong)机(ji)(ji)(ji)(ji)与(yu)齿(chi)轮(lun)(lun)放在(zai)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)的(de)(de)(de)同(tong)一(yi)(yi)(yi)侧(ce)如图。从动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)由电动(dong)(dong)机(ji)(ji)(ji)(ji)端齿(chi)轮(lun)(lun)直接传过(guo)去(qu)带动(dong)(dong)，这(zhei)样主动(dong)(dong)转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)(bian)形小(xiao)，则两(liang)个转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之间的(de)(de)(de)间隙(xi)不(bu)会因主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)的(de)(de)(de)扭转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)变(bian)(bian)形大(da)而(er)改变(bian)(bian)，故使转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)子(zi)(zi)(zi)之间的(de)(de)(de)间隙(xi)在(zai)运转(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)(zhuan)过(guo)程中均匀(yun)。这(zhei)种传动(dong)(dong)方式的(de)(de)(de)最(zui)大(da)缺点(dian)是(shi)(shi)：a.主动(dong)(dong)轴(zhou)(zhou)上有三个轴(zhou)(zhou)承(cheng)，增加(jia)(jia)了泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)加(jia)(jia)工(gong)和装(zhuang)配(pei)难(nan)度，齿(chi)轮(lun)(lun)的(de)(de)(de)拆(chai)装(zhuang)及调整(zheng)(zheng)也(ye)不(bu)便；b.整(zheng)(zheng)体结构(gou)不(bu)匀(yun)称，泵(beng)(beng)(beng)的(de)(de)(de)重心(xin)偏向电动(dong)(dong)机(ji)(ji)(ji)(ji)和齿(chi)轮(lun)(lun)箱一(yi)(yi)(yi)侧(ce)。

    极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个(ge)(ge)(ge)重要参数，是(shi)反应泵(beng)抽(chou)气(qi)能(neng)力的(de)(de)(de)特性(xing)值(zhi)，是(shi)与真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)相关的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个(ge)(ge)(ge)数值(zhi)，不同(tong)的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)泵(beng)可以(yi)有不同(tong)的(de)(de)(de)“极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”度。而“理论(lun)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)”是(shi)理论(lun)研究时(shi)(shi)的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)个(ge)(ge)(ge)概(gai)念，是(shi)排(pai)除各种实(shi)际(ji)因素(su)的(de)(de)(de)影响而提炼出的(de)(de)(de)一(yi)(yi)(yi)种最(zui)理想的(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)状态。真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)经(jing)充分抽(chou)气(qi)后(hou)，稳定在某一(yi)(yi)(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度，此真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)度称为极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)。通常真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)容(rong)器(qi)须经(jing)12小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)炼气(qi)，再经(jing)12小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)抽(chou)真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)，最(zui)后(hou)一(yi)(yi)(yi)个(ge)(ge)(ge)小(xiao)(xiao)时(shi)(shi)每(mei)隔10分钟测量一(yi)(yi)(yi)次，取其(qi)10次的(de)(de)(de)平均值(zhi)为极(ji)限真(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)值(zhi)。